表面改質パッド

―表面改質によるゴム特性の改善―
―“吸着跡”、“はりつき”の防止―
プロセスのファイン（微細化）、クリーン化が進む中、吸着パッドの“吸着跡”や“はりつき”が問題となってきています。吸着パッドの大谷技研は、“吸着跡”、“はりつき”対策として表面改質パッドを開発しました。
表面改質パッドは、吸着パッド表面をエポキシ化しています。改質層（エポキシ層）は、表面から50μm程度で、「滑り性向上」、「バリア効果付与」、「非粘着性付与」の特性を有しています。弾力性など全体としてのゴム特性（シール性能）を維持しながら、表面のみ改質を行い、表面が絡む問題を解決しています。
堆積（デポジション）し成膜する技術（例えばDLC）をトライしましたが、基材（ゴム）との密着が悪く、表面を改質する技術（基材を変化させる技術）に到達しました。
同様な技術に「ハロゲン処理」がありますが、表面改質パッドの表面改質は、ハロゲンを用いず環境負荷の点で優れています。

表面改質できるゴム：ニトリルゴム、天然ゴム

表面改質パッドの効果のメカニズム

表面改質パッドの断面

吸着パッド
真空パッド
吸盤

治具、メカトロ設計
シーケンス制御

吸着パッドから自動機まで解説―自動機コム