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真空ポンプ

―真空吸着搬送に適した真空ポンプとは―
―ブロア型真空ポンプのご紹介―

真空吸着搬送に使われる真空ポンプは、いわゆる半導体製造プロセスで使われる真空ポンプと比較して、次の性能が求められます。
○ 真空吸着搬送は大気圧との差圧（負圧）ｘ真空パッド吸着面積＝吸着力で仕事をすます。例えば、10kPa abs はほぼ－90kPa gageに等しく、10kpa abs をどんなに絶対真空に近づけても吸着力は10％しか増えません。この程度の吸着力増加は、真空パッド吸着面積増加で補えることが多いです。したがって、真空吸着搬送に使われる真空ポンプの到達圧力（到達真空度）は悪くて（大気圧に近い）もよいことになります。
○ 真空チャンバ内を真空にする半導体製造プロセスの真空ポンプと異なり、真空にする対象は、真空パッド－ワークで作られる空間です。この場合、大きな漏れが常時あることが多いです。したがって、真空吸着搬送に使われる真空ポンプの排気流量は大きい方がよいことになります。

一般に使われる真空吸着搬送用の真空ポンプの特性を下表に示します。また、グラフを下に示します。
この中であげているブロア型真空ポンプ（外観は写真参照）は、日本ではあまり使われていませんが、到達圧力は悪い（大気圧に近い）が排気流量は非常に大きく、真空吸着搬送用途に適しています。ブロア型真空ポンプは、特に次のアプリケーションに適しています。
① 部品実装後のプリント板
② シェル型
③ 木材
いずれも大きな漏れ流量が存在する場合です。
また、下写真（ロボット）のように、いろいろなワークを真空吸着できるスポンジ真空パッドでは、ワークがないところの漏れ流量が大きいため、ブロア型真空ポンプが最適です。

メーカ	真空シンクウポンプタイプ	型番カタバン	到達トウタツ圧力アツリョク	排気ハイキ流量リュウリョウ	モータ容量ヨウリョウ
			kPa abs	L/min	Ｗ
アルバック	ダイアフラム型ガタ	DA-20D	5.3	20	60
		DA-60D	3.32	60	200
		DA-121D	3.3	120	400
	回転カイテン翼ヨク型ガタ	DSB-151	15	180	370
		DSB-601	12	600	1250
	揺ユ動ウゴピストン型ガタ	DOP-9D	6.7	9	40
		DOP-40D	1.2	40	210
		DOP-80S	5.4	80	210
		DOP-300SA	8	300	400
	スクロール型ガタ	DIS-90	0.005	90	150
		DIS-251	0.0016	250	400
	油アブラ回転カイテン型ガタ	G-5	4	5	25
		G-50SA	0.0093	50	200
		G-100S	0.0093	100	400
オリオン	ベーン型ガタ	KHA100-101-G1	8	55	100
		KHA200-101-G1	8	120	200
		KHA400-101-G1	8	220	400
		KHA750-301-G1	8	330	750
DUTAIR	ブロア型ガタ	DB102	94	966	200
		DB204	89	1666	400
		DB307	84	2950	750