真空を用いたノンコンタクト搬送システム
真空を用いたノンコンタクト搬送システム【発明の名称】
特開２００８−２８４６７０【公開番号】
大谷 圭三【出願人】
【課題】
保持力の大きいノンコンタクト搬送システムを提供すること。
【解決手段】
負圧吸引によりワーク９を保持するとともに、ワーク９との非接触を確保するために、ロードセル３または近接センサ２などのセンサ信号をもとに、ワーク９と吸引パッド１間の距離制御を行い、非接触の吊上げ搬送を実現する。
【解説】
非接触の吊上げ搬送が実現できる。液晶ガラス基板の搬送をターゲットにしている。
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【解説】
非接触の吊上げ搬送が実現できる。液晶ガラス基板の搬送をターゲットにしている。
| 図 |
| 図1 実施例 3:ロードセル 6:真空ポンプ 9:ワーク 
|
| 図2 実施例のアルゴリズム 
|
| 図3 実施例のアルゴリズム 
|
| 図4 従来のノンコンタクト搬送パッドの断面図 
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